真空相关计算

RUVAC 启动压力

$p = \frac{\Delta p_{max}}{k_{th}-1}$

$k_{th} = \frac{\textsf{Nominal pumping speed RUVAC}}{\textsf{Nominal pumping speed backing pump}}$

RUVAC	$\Delta p_{max}$ [mbar]	前级泵抽速 [m3/h]	p [mbar]
WA/WAU 251	80	75	33.7
WA/WAU 501	80	180	44.3
WA/WAU 1001	80	280	31.1
WA/WAU 2001	50	640	22.7

抽气时间计算

低真空

• 低真空: 10⁵ ~ 10² Pa
• Rough vacuum: 1013 ~ 1 mbar ^[1]
• 不考虑管道影响和漏放气
• p << p_end ^[2]

$t = \frac{V}{S} ln{\frac{p_0}{p}} = 2.3 \frac{V}{S} lg{\frac{p_0}{p}}$

真空室容积 [m3]	15	15	15	15	15	15
真空泵抽速 [m3/h]	250	1000	1000	1000	1000	1000
初始压力 p0 [mbar]	1013	150	27	150	1	150
终止压力 p [mbar]	150	27	1	1	0.01	0.01
抽气时间 [min]	6.88	1.54	2.97	4.51	4.14	8.65
抽气时间 [s]	413	93	178	271	249	519

中真空

• 中真空: 10² ~ 10^-1 Pa
• Medium vacuum: 1 ~ 10^-3 mbar ^[3]

$t = \frac{V}{S_{eff}} ln{\frac{(p_0 - p_{end}) -Q/S_{eff}} {(p-p_{end}) -Q/S_{eff}}}$

真空室容积 [m3]	15	15	15
真空泵抽速 [m3/h]	1000	1000	1000
初始压力 p0 [mbar]	1	0.1	1
终止压力 p [mbar]	0.1	0.01	0.01
极限压力 pend [mbar]	0.009	0.009	0.009
放气漏气 Q [mbar*l/s]	0	0	0
抽气时间 [min]	2.15	4.06	6.21
抽气时间 [s]	129	244	373

play

真空室容积 [m3]	15	15	15
真空泵抽速 [m3/h]	250	1000	1000
初始压力 p0 [mbar]	1013	100	27
终止压力 p [mbar]	100	27	1
抽气时间 [min]	8.34	1.18	2.97	12.49
抽气时间 [s]	500	71	178	749

真空室容积 [m3]	15	15	15
真空泵抽速 [m3/h]	250	1000	1000
初始压力 p0 [mbar]	1013	150	27
终止压力 p [mbar]	150	27	1
抽气时间 [min]	6.88	1.54	2.97	11.39
抽气时间 [s]	413	93	178	684

真空室容积 [m3]	15	15	15
真空泵抽速 [m3/h]	250	1000	1000
初始压力 p0 [mbar]	1013	200	27
终止压力 p [mbar]	200	27	1
抽气时间 [min]	5.84	1.80	2.97	10.61
抽气时间 [s]	350	108	178	636

真空室容积 [m3]	15	15	15
真空泵抽速 [m3/h]	250	1000	1000
初始压力 p0 [mbar]	1013	250	27
终止压力 p [mbar]	250	27	1
抽气时间 [min]	5.04	2.00	2.97	10.01
抽气时间 [s]	302	120	178	600

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1. FVT 2.3.1.1 P66 ↩︎

2. 极限压力 ↩︎

3. FVT 2.3.1.3 P68 ↩︎