Vacuum Technology

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步骤如下：

  1. 点击“钥匙”图标，进入登录界面。

  2. 点击Log-in按钮。

  3. 输入密码“customing”，然后点击OK按钮。

  4. 依次点击Process > Communication按钮。

  5. 在蓝圈内输入ProfiBUS地址，确认红圈内是有打勾的。

  6. ProfiBUS 地址设置完成。

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USB Copy Unit

操作指南

Read：将变频器上的参数读取到拷贝器中：

  1. 将拷贝器通过网线连接到被拷贝变频器的网线接口，注意 COM 点亮表示通讯正常；
  2. 按住 Read 按钮 1 秒钟，拷贝器开始从变频器上读取参数，此时变频器上出现闪烁的“rEAd”字符。
    • 当出现“End”时表示参数读取任务完成；
    • 如果出现“rdEr”则表示参数读取失败 。
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变频器频率信号输入 A2-AC

H3−12=最低频率最高频率⋅100.0%H3-12 = \frac {最低频率}{最高频率} \cdot 100.0\%

电压信号

频率ff与电压UU的关系：f=12⋅Uf = 12 \cdot U，其中：U=[0,10]U=[0,10] V

变频器参数 Leybold On-site
b1-01 0 1
H3-09 2 0
H3-10 0 0
H3-12 0 0
DIP S1 I V
DIP S4 M M

频率ff与电压UU的关系：f=10⋅U+20f = 10 \cdot U + 20，其中：U=[0,10]U=[0,10] V

变频器参数 Leybold On-site
b1-01 0 1
H3-09 2 0
H3-10 0 0
H3-12 0 16.7
DIP S1 I V
DIP S4 M M

频率ff与电压UU的关系：f=9.6⋅U+24f = 9.6 \cdot U + 24，其中：U=[0,10]U=[0,10] V

变频器参数 Leybold On-site
b1-01 0 1
H3-09 2 0
H3-10 0 0
H3-12 0 20.0
DIP S1 I V
DIP S4 M M

频率ff与电压UU的关系：f=9⋅U+30f = 9 \cdot U + 30，其中：U=[0,10]U=[0,10] V

变频器参数 Leybold On-site
b1-01 0 1
H3-09 2 0
H3-10 0 0
H3-12 0 25.0
DIP S1 I V
DIP S4 M M
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BOE B10中DS泵组与机台中间有一个中继电控柜，此电控柜设计时，DS泵组Warning、Alarm信号是Normally Open的，所以需要把Set Warning And Failure Outputs As Normally Close Contact前的勾取消，否则机台会报警无法开机。

更换新泵或刷软件时需要特别注意。

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RUVAC 启动压力

p=Δpmaxkth−1p = \frac{\Delta p_{max}}{k_{th}-1}

kth=Nominal pumping speed RUVACNominal pumping speed backing pumpk_{th} = \frac{\textsf{Nominal pumping speed RUVAC}}{\textsf{Nominal pumping speed backing pump}}

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Reference:

GB/T 6071-2003 超高真空法兰 Ultra-high vacuum flange

标准简介

本标准规定了内焊型、松套型、盲型超高真空兰和铜密封垫的型式、尺寸及技术要求。
本标准适用于超高真空系统中公称通径为16mm~250mm用铜垫密封的不锈钢法兰及铜密封垫。